X熒光光譜儀是掃描型的儀器，當儀器運行時，許多部件在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器等，經常動作的部件容易出現(xiàn)問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現(xiàn)問題。
新型的X熒光光譜儀都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的部位。
但是有些在測量過程中出現(xiàn)的問題靠診斷軟件是發(fā)現(xiàn)不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構比較熟悉，且具有一定的維修經驗。
下面讓我們一起來了解一下x熒光光譜儀可能出現(xiàn)的故障及解決方法吧。
故障現(xiàn)象一
X射線發(fā)生器的高壓開不起來。
故障分析：
這是X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發(fā)生在開機時，偶爾也發(fā)生在儀器運行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統(tǒng);2、內部水循環(huán)冷卻系統(tǒng);3、高壓發(fā)生器及X射線光管。
X射線防護系統(tǒng)
為了防止X射線泄漏，高壓發(fā)生器只有在射線防護系統(tǒng)正常的情況下才能啟動。射線防護系統(tǒng)正常與否，主要檢查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。X射線熒光光譜儀是一個封閉系統(tǒng)，面板是最外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有*合上，高壓開不起來。
2、X射線的警示標志是否正常。國家標準規(guī)定X射線熒光光譜儀必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯(lián)動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。
有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統(tǒng)引起，即將儀器的狀態(tài)設定為維修狀態(tài)，屏蔽射線防護系統(tǒng)，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統(tǒng)的問題引起的。
故障現(xiàn)象二
光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值。
故障分析：
X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。
1、真空泵
將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在幾秒鐘內抽到規(guī)定值，可以排除真空泵出現(xiàn)故障的可能性。如果能抽到規(guī)定值但時間較長，可能是真空泵的效率降低，這種情況一般發(fā)生在經常分析壓片樣品和油品的儀器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改變了油的粘度，這時需更換真空泵油。
2、樣品室
樣品室最常見的漏氣部位是樣品自轉裝置上的密封圈，樣品測量時通常以0.5轉/秒的速度自轉，儀器幾年運行下來，樣品自轉處的密封圈磨損，密封效果變差。
3、光譜室
光譜室最常見的漏氣部位是流氣計數器，流氣計數器安裝在光譜室內，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通，流氣計數器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計數器與外界隔絕，然后抽真空。
檢查真空故障，在拆卸和安裝時，要小心操作，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產生新的漏氣點，安裝時可以在密封部位涂一點真空油脂。
